Method and system for predicting process information with a parameterized model

WO2021104718 Art A1 3. Juni 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021104718
Aktenzeichen: EP20781006
Anmeldetag: 28. September 2020
Veröffentlichung: 3. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G06K9/36G06N3/02G06N3/04G06N20/00G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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