Pumping stage of a vacuum pump

WO2021105656 Art A1 3. Juni 2021

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021105656
Aktenzeichen: EP20815910
Anmeldetag: 24. November 2020
Veröffentlichung: 3. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: F04D17/16F04D19/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS LIMITED
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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