Defect inspection device and method

WO2021106128 Art A1 3. Juni 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021106128
Aktenzeichen: EP19953988
Anmeldetag: 28. November 2019
Veröffentlichung: 3. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/29H01L21/66G01N23/2202G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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