Substrate processing apparatus

WO2021106515 Art A1 3. Juni 2021

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021106515
Aktenzeichen: EP20893252
Anmeldetag: 5. November 2020
Veröffentlichung: 3. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B05C11/00B05C11/08B05C11/10B05C13/02G03F7/38H01L21/027H01L21/304H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

1.641 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von