Gas quality optimization for enhanced co2 drive laser performance

WO2021110317 Art A2 10. Juni 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021110317
Aktenzeichen: EP20793668
Anmeldetag: 20. Oktober 2020
Veröffentlichung: 10. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/036

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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