A device and method for connecting a fibre preform to a pressure supply system

WO2021110338 Art A1 10. Juni 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021110338
Aktenzeichen
EP20797788
Anmeldetag
4. November 2020
Veröffentlichung
10. Juni 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G02B6/02C03B37/012C03B37/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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