Rotor and multistage dry vacuum pump

WO2021110447 Art A1 10. Juni 2021

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021110447
Aktenzeichen
EP20807801
Anmeldetag
23. November 2020
Veröffentlichung
10. Juni 2021
Rechtsraum
WO
IPC
F04C23/00F04C25/02F04C27/00F04C29/00F04C18/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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