Rinsing composition and method for treating surface of photoresist material using same

WO2021111338 Art A1 10. Juni 2021

Anmelder: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021111338
Aktenzeichen
EP20895715
Anmeldetag
2. Dezember 2020
Veröffentlichung
10. Juni 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C11D3/30C11D1/74C11D11/00G03F7/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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