Infilling sheet for plasma device, part for plasma device comprising said infilling sheet, and plasma device comprising said infilling sheet

WO2021111362 Art A1 10. Juni 2021

Anmelder: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021111362
Aktenzeichen: EP20824650
Anmeldetag: 3. Dezember 2020
Veröffentlichung: 10. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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