Foreign matter inspection device, foreign matter inspection method, processing device, and article manufacturing method

WO2021111918 Art A1 10. Juni 2021

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021111918
Aktenzeichen: EP20895320
Anmeldetag: 24. November 2020
Veröffentlichung: 10. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

19.221 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von