Polishing device and polishing method

WO2021112034 Art A1 10. Juni 2021

Anmelder: EBARA CORPORATION, KYUSHU INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021112034
Aktenzeichen: EP20895489
Anmeldetag: 30. November 2020
Veröffentlichung: 10. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/005B24B49/12H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: EBARA CORPORATION
KYUSHU INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Kyushu Institute of Technology

Das Kyushu Institute of Technology ist eine japanische staatliche Technische Universität mit Standorten in Kitakyushu und Iizuka. Das Patentportfolio verteilt sich über Halbleiterbauelemente, Mess- und Prüftechnik sowie Software und Medizintechnik. Die Anmeldungen aus den Jahren 2005 bis 2025 betreffen unter anderem Potentialdifferenzmessgeräte und Farbstoff-Peptid-Komplexe.

265 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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