Tomography based semiconductor measurements using simplified models

WO2021113191 Art A1 10. Juni 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021113191
Aktenzeichen
EP20896103
Anmeldetag
1. Dezember 2020
Veröffentlichung
10. Juni 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01N21/88G01N21/95G06T17/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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