Charged particle gun and charged particle beam device

WO2021117226 Art A1 17. Juni 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021117226
Aktenzeichen: EP19955625
Anmeldetag: 13. Dezember 2019
Veröffentlichung: 17. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/06H01J37/08H01J1/15

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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