Aluminum alloy target, aluminum alloy wiring film, and method for producing aluminum alloy wiring film

WO2021117302 Art A1 17. Juni 2021

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021117302
Aktenzeichen
EP20898122
Anmeldetag
3. September 2020
Veröffentlichung
17. Juni 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C22C21/00C23C14/14H01L21/336H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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