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WO2021117685 Art A1 17. Juni 2021

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021117685
Aktenzeichen: EP20899152
Anmeldetag: 7. Dezember 2020
Veröffentlichung: 17. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B08B1/04B08B3/04B08B7/04H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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