Alignment control in nanoimprint lithography using feedback and feedforward control

WO2021118698 Art A1 17. Juni 2021

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021118698
Aktenzeichen: EP20900037
Anmeldetag: 27. Oktober 2020
Veröffentlichung: 17. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00B32B37/00B81C1/00B32B37/14G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

19.221 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von