Liquid Precursor Vaporizer

WO2021118935 Art A1 17. Juni 2021

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021118935
Aktenzeichen: EP20898073
Anmeldetag: 7. Dezember 2020
Veröffentlichung: 17. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448B22F10/28B22F10/64B33Y10/00B33Y40/20B33Y80/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von