Direct-write photoetching system and direct-write photoetching method

WO2021120906 Art A1 24. Juni 2021

Anmelder: SVG TECH GROUP CO., LTD, SOOCHOW UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021120906
Aktenzeichen
EP20901811
Anmeldetag
4. November 2020
Veröffentlichung
24. Juni 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20B23K26/073
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SVG TECH GROUP CO., LTD
SOOCHOW UNIVERSITY
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Soochow University

Soochow University ist eine staatliche Universität in Suzhou, China, mit breitem Fächerspektrum einschließlich Materialwissenschaft und Chemie.

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