Verfahren zur Bestimmung von Defektdichten in Halbleiterscheiben aus Einkristallinem Silizium

WO2021122014 Art A1 24. Juni 2021

Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021122014
Aktenzeichen: EP20816476
Anmeldetag: 3. Dezember 2020
Veröffentlichung: 24. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C30B29/06C30B33/06G01N21/3563H01L21/66G01N21/47G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SILTRONIC AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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