Vacuum pump and method for injecting a purging gas
WO2021122359
Art A1
24. Juni 2021
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021122359
- Aktenzeichen
- EP20820962
- Anmeldetag
- 11. Dezember 2020
- Veröffentlichung
- 24. Juni 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04C18/12F04C23/00F04C25/02F04C29/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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