Encoder device and method for using same, drive device, stage device, and robot device

WO2021124377 Art A1 24. Juni 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021124377
Aktenzeichen: EP19956765
Anmeldetag: 16. Dezember 2019
Veröffentlichung: 24. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01D5/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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