Measurement abnormality detection device and measurement abnormality detection method

WO2021124448 Art A1 24. Juni 2021

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021124448
Aktenzeichen: EP19956488
Anmeldetag: 17. Dezember 2019
Veröffentlichung: 24. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54G01B7/06G01N5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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