Ribbon beam plasma enhanced chemical vapor deposition system for anisotropic deposition of thin films

WO2021126365 Art A1 24. Juni 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021126365
Aktenzeichen: EP20900947
Anmeldetag: 25. Oktober 2020
Veröffentlichung: 24. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/505C23C16/511C23C16/458H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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