Analysis system, method for inspecting lamella, and charged particle beam device

WO2021130992 Art A1 1. Juli 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021130992
Aktenzeichen: EP19957043
Anmeldetag: 26. Dezember 2019
Veröffentlichung: 1. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01N1/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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