Heat treatment apparatus and heat treatment method

WO2021131276 Art A1 1. Juli 2021

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021131276
Aktenzeichen: EP20904796
Anmeldetag: 21. Oktober 2020
Veröffentlichung: 1. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/26H01L21/265G01J5/00G01J5/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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