Metal removal filter, substrate processing apparatus and substrate processing method

WO2021131292 Art A1 1. Juli 2021

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021131292
Aktenzeichen: EP20906540
Anmeldetag: 26. Oktober 2020
Veröffentlichung: 1. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B01D61/02B01D24/00B01D29/00B01D29/11B01D15/00H01L21/304B01J20/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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