Semiconductor chip cleaning method and semiconductor chip cleaning device
WO2021132133
Art A1
1. Juli 2021
Anmelder: YAMAHA ROBOTICS HOLDINGS CO., LTD., KURITA WATER INDUSTRIES LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021132133
- Aktenzeichen
- EP20905851
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2020
- Veröffentlichung
- 1. Juli 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304H01L21/52H01L21/301
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- YAMAHA ROBOTICS HOLDINGS CO., LTD.
KURITA WATER INDUSTRIES LTD. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kurita Water Industries
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.
1.069 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.