Packed-Bed Filter For Metal Fluoride Dust Trapping in Laser Discharge Chambers

WO2021133568 Art A1 1. Juli 2021

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021133568
Aktenzeichen: EP20839435
Anmeldetag: 10. Dezember 2020
Veröffentlichung: 1. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/034H01S3/036H01S3/225B03C3/06B03C3/155B01D46/00B01D46/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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