Block Copolymer Self-Alignment On Isolated Chemical Stripes

WO2021133840 Art A1 1. Juli 2021

Anmelder: WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION, UNIVERSITY OF CHICAGO 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021133840
Aktenzeichen: EP20905647
Anmeldetag: 22. Dezember 2020
Veröffentlichung: 1. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004C08L53/00H01L21/02C08G81/02C08F299/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION
UNIVERSITY OF CHICAGO
Land: 🇺🇸 USA

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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