Apparatus for and method of control of a charged particle beam

WO2021140072 Art A1 15. Juli 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021140072
Aktenzeichen: EP21700040
Anmeldetag: 4. Januar 2021
Veröffentlichung: 15. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/153H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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