Verfahren zur Herstellung eines Piezoelektrischen Mehrschicht-Sensors Und/oder Aktuators

WO2021140096 Art A1 15. Juli 2021

Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V., RHEINISCH WESTFÄLISCHE TECHNISCHE HOCHSCHULE AACHEN 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021140096
Aktenzeichen: EP21701888
Anmeldetag: 5. Januar 2021
Veröffentlichung: 15. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/083H01L41/314

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V.
RHEINISCH WESTFÄLISCHE TECHNISCHE HOCHSCHULE AACHEN
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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