Cleaning device for lapping device

WO2021140737 Art A1 15. Juli 2021

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021140737
Aktenzeichen
EP20912032
Anmeldetag
9. November 2020
Veröffentlichung
15. Juli 2021
Rechtsraum
WO
IPC
B24B55/06B24B37/08H01L21/304B05B1/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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