Cleaning device for lapping device
WO2021140737
Art A1
15. Juli 2021
Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021140737
- Aktenzeichen
- EP20912032
- Anmeldetag
- 9. November 2020
- Veröffentlichung
- 15. Juli 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24B55/06B24B37/08H01L21/304B05B1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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