Single crystal manufacturing device

WO2021140758 Art A1 15. Juli 2021

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021140758
Aktenzeichen
EP20911383
Anmeldetag
20. November 2020
Veröffentlichung
15. Juli 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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