Polycrystalline film, method for forming polycrystalline film, laser crystallization device and semiconductor device

WO2021140849 Art A1 15. Juli 2021

Anmelder: V TECHNOLOGY CO., LTD., KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021140849
Aktenzeichen
EP20912719
Anmeldetag
15. Dezember 2020
Veröffentlichung
15. Juli 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/20H01L21/268H01L21/3205H01L21/768H01L23/532H01L21/336H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
V TECHNOLOGY CO., LTD.
KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

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🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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