Substrate, patterning device and lithographic apparatuses

WO2021144066 Art A1 22. Juli 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021144066
Aktenzeichen: EP20820857
Anmeldetag: 7. Dezember 2020
Veröffentlichung: 22. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01B9/02G03F9/00H01L23/544

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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