Method, assembly, and apparatus for improved control of broadband radiation generation

WO2021144093 Art A1 22. Juli 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021144093
Aktenzeichen: EP20821239
Anmeldetag: 14. Dezember 2020
Veröffentlichung: 22. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/383G03F7/00G02B6/02G02F1/01G02F1/35G02F1/365

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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