Vacuum pump monitoring method and apparatus

WO2021144552 Art A1 22. Juli 2021

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021144552
Aktenzeichen: EP21700060
Anmeldetag: 5. Januar 2021
Veröffentlichung: 22. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: F04D19/04C23C16/44F04D27/00F04D27/02F16K37/00H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS LIMITED
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

612 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von