Nanosheet transistor with self-aligned dielectric pillar

WO2021144644 Art A1 22. Juli 2021

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021144644
Aktenzeichen: EP20913910
Anmeldetag: 23. Dezember 2020
Veröffentlichung: 22. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/78H01L21/336H01L27/088

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: International Business Machines Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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