Surface analysis method and surface analysis device

WO2021145117 Art A1 22. Juli 2021

Anmelder: V TECHNOLOGY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021145117
Aktenzeichen
EP20913323
Anmeldetag
14. Dezember 2020
Veröffentlichung
22. Juli 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/27G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
V TECHNOLOGY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

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