Charged particle beam device and inspection device

WO2021149188 Art A1 29. Juli 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021149188
Aktenzeichen: EP20915087
Anmeldetag: 22. Januar 2020
Veröffentlichung: 29. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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