Spectrum shaping devices and techniques for optical characterization applications

WO2021150783 Art A1 29. Juli 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021150783
Aktenzeichen: EP21744849
Anmeldetag: 21. Januar 2021
Veröffentlichung: 29. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01N21/25H01L21/67G01N21/84G01N21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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