Metrology method and device for measuring a periodic structure on a substrate

WO2021151754 Art A1 5. August 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021151754
Aktenzeichen: EP21700945
Anmeldetag: 20. Januar 2021
Veröffentlichung: 5. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/95G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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