Mems mit Hohem Aspektverhältnis

WO2021151884 Art A1 5. August 2021

Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021151884
Aktenzeichen: EP21702429
Anmeldetag: 26. Januar 2021
Veröffentlichung: 5. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00H01L21/306H01L21/3063H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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