Plasma generator and substrate processing device

WO2021153060 Art A1 5. August 2021

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021153060
Aktenzeichen: EP20916750
Anmeldetag: 16. Dezember 2020
Veröffentlichung: 5. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/24H01L21/027H01L21/304A01G7/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

1.641 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik

Vertreten von