Ceramic joined body, electrostatic chuck device, and method for producing ceramic joined body

WO2021153145 Art A1 5. August 2021

Anmelder: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021153145
Aktenzeichen: EP20916320
Anmeldetag: 28. Dezember 2020
Veröffentlichung: 5. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H02N13/00C04B37/00C04B35/117H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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