Planar coil, and device for manufacturing semiconductor comprising same

WO2021153697 Art A1 5. August 2021

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021153697
Aktenzeichen: EP21747938
Anmeldetag: 28. Januar 2021
Veröffentlichung: 5. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46H01F5/00H01F41/04H01L21/3065H01L21/31C23C16/505H01F27/28H01F27/30H01F27/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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