Performance predictors for semiconductor-manufacturing processes

WO2021154747 Art A1 5. August 2021

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021154747
Aktenzeichen: EP21747776
Anmeldetag: 26. Januar 2021
Veröffentlichung: 5. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G05B15/02G05B17/02G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von