Methods and apparatus for plasma spraying silicon carbide coatings for semiconductor chamber applications

WO2021154816 Art A1 5. August 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021154816
Aktenzeichen: EP21748336
Anmeldetag: 27. Januar 2021
Veröffentlichung: 5. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C04B41/50C04B41/45C04B41/51H01L21/67H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von