A stage system, stage system operating method, inspection tool, lithographic apparatus, calibration method and device manufacturing method

WO2021155990 Art A1 12. August 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021155990
Aktenzeichen: EP20833886
Anmeldetag: 21. Dezember 2020
Veröffentlichung: 12. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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