Improved alignment of scatterometer based particle inspection system

WO2021156070 Art A1 12. August 2021

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021156070
Aktenzeichen: EP21702873
Anmeldetag: 21. Januar 2021
Veröffentlichung: 12. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/94G01N21/956G03F1/84G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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